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文件名称：厚度对 CMN/ CT 薄膜结构与性能的影响研究 (2009年)
文件大小：1.89MB
文件格式：PDF
更新时间：2021-05-24 07:53:23
自然科学 论文
采用 Pechini方法制备 Ca(Mg 1 / 3 Nb 2/ 3 )O3 (CMN)及 CaTiO3 (CT)前驱体溶液,采用液相旋涂技术按照一定的排布方式制备 CMN/CT介电异质薄膜,研究薄膜厚度、异质层排布方式及热处理时间等对薄膜的结构与介电性能的影响。结果表明,CMN/CT介电异质薄膜具有单一的钙钛矿结构,异质界面具有介电增强效应,随着薄膜厚度增加,异质结构变得不明显,晶粒尺寸和表面粗糙度增加,介电性能增强,厚度到一定程度以后,介电损耗会明显增加。排列方式对异质薄膜的介电性能产生大的影响,CT