文件名称:论文研究-分栅型闪存中浮栅氮化物硬掩膜层蚀刻工艺的优化 .pdf
文件大小:479KB
文件格式:PDF
更新时间:2022-09-04 06:45:59
分栅型闪存
分栅型闪存中浮栅氮化物硬掩膜层蚀刻工艺的优化,厉心宇,,本文介绍了闪存单元的结构,编程,读取,擦除操作的原理。阐述了浮栅单元通过F-N 电子隧穿和沟道热电子注入来进行擦除和编程的工��
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分栅型闪存
分栅型闪存中浮栅氮化物硬掩膜层蚀刻工艺的优化,厉心宇,,本文介绍了闪存单元的结构,编程,读取,擦除操作的原理。阐述了浮栅单元通过F-N 电子隧穿和沟道热电子注入来进行擦除和编程的工��