论文研究-分栅型闪存中浮栅氮化物硬掩膜层蚀刻工艺的优化 .pdf

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更新时间：2022-09-04 06:45:59
分栅型闪存 分栅型闪存中浮栅氮化物硬掩膜层蚀刻工艺的优化，厉心宇，，本文介绍了闪存单元的结构，编程，读取，擦除操作的原理。阐述了浮栅单元通过F-N 电子隧穿和沟道热电子注入来进行擦除和编程的工��