文件名称：Optical Lithography Here is Why
文件大小：20KB
文件格式：RAR
更新时间：2014-02-12 10:12:02
Optical Lithography
台积电老大写的2011年新书。一共三个部分，这是第3部分，用相同关键字可以搜到其他两部分，一起解压
Optical Lithography Here is Why
【文件属性】：
网友评论
- 很不错的一套书。对于了解光刻产业和技术很有帮助
- 一共三卷，，还差一卷，需要的积分太多了
- 光刻书很好，好不容易找到，积分不够还差一卷
- 很经典的一本光刻书籍。对做理论和工艺的都有帮助。