【文件属性】：
文件名称：Optical Lithography Here is Why
文件大小：13.9MB
文件格式：RAR
更新时间：2014-02-12 10:11:14
Optical Lithography
台积电老大写的2011年新书。一共三个部分，这是第一部分，用相同关键字可以搜到其他两部分，一起解压
网友评论
- 下载学习一下，为啥要分三卷
- 此书对光刻技术的各个方面都有较详细论述，可做入门
- 还需要下载另外两卷才能解压，积分是个问题。看简介说的很牛，现在不知道呢
- 这本光刻书很好，可惜积分不够，这只是三卷中的一卷
- 很好的一本光刻书籍。我是做光刻仿真的，收益匪浅。值得推荐。
- 该资源只是多卷的一部分，不可以解压。