MEMS器件气密封装工艺规范

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文件名称：MEMS器件气密封装工艺规范

文件大小：380KB

文件格式：PDF

更新时间：2015-11-22 03:41:15

MEMS 器件 气密 封装 工艺

讲述微动机械元件的封装制造工艺，介绍各种MEMS的知识。