论文研究-MEMS红外微辐射源的研制及应用 .pdf

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文件名称：论文研究-MEMS红外微辐射源的研制及应用 .pdf

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更新时间：2022-09-06 19:39:20

MEMS

MEMS红外微辐射源的研制及应用，纪新明，彭晶，结合MEMS工艺研制了一种可用于红外气体传感器的低成本电调制MEMS辐射光源。辐射源主要由Si3N4/SiO2的复合支撑薄膜和铂金发热电极组成。