文件名称：基于表面等离子体效应的MEMS红外辐射源特性研究* (2008年)
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更新时间：2024-06-13 06:31:23
工程技术 论文
研究了一种新型的基于二维光子晶体结构的表面等离子体共振SPR（surface plasmon resomnce）效应的红外辐射源，该辐射源基本结构为Si-SiO2（650nm）-Cr（100nm）-Au（800nm），并在Au表面刻蚀5μm的周期性排列的圆孔。设计加工了几种不同的结构，包括三种不同的圆孔间距即晶格常数：6μm，7μm，和8μm；四种占空比（圆孔直径与晶格常数之比）：3/8，4/8，9/16和11/16；以及三种圆孔排列方式：正方形排列，六边型排列，和带规则缺陷六边型排列。本文采用红外傅立叶