论文研究- 单片三维集成中的关键工艺和器件技术 .pdf

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文件名称：论文研究- 单片三维集成中的关键工艺和器件技术 .pdf

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更新时间：2022-09-04 10:32:27

微电子

单片三维集成中的关键工艺和器件技术 ，杨远程，黎明，三维单片集成的发展动力来自对高集成度、低成本、多功能系统的需求。器件选择上，栅控能力强、泄漏电流低的超薄体全耗尽器件（如