文件名称：使用密度泛函理论计算 SiOC 的电子特性
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更新时间：2024-07-19 12:31:53
学术 论文
Berechnung elektronischer Eigenschaften von SiOC mit Hilfe von Dichtefunktionaltheorie Kurzvorträge Berechnung elektronischer Eigenschaften von SiOC mit Hilfe von Dichtefunktionaltheorie M. Petersen Accelrys, Inc. 9685 Scranton Road, San Diego, CA 92121 Keywords: Semiconductor; CASTEP SiOC hat als Material mit ungewöhnlich niedriger dielektrischer Konstante eine wichtige Rolle in der Herstellung von Isolations- schichten in der Halbleitertechnologie. Ein entscheidender Nachteil dieses Mater