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文件名称：使用密度泛函理论计算 SiOC 的电子特性
文件大小：38KB
文件格式：PDF
更新时间：2021-06-29 18:45:13
学术 论文
Berechnung elektronischer Eigenschaften von SiOC mit Hilfe von Dichtefunktionaltheorie
Kurzvorträge
Berechnung elektronischer
Eigenschaften von SiOC mit Hilfe von
Dichtefunktionaltheorie
M. Petersen
Accelrys, Inc. 9685 Scranton Road, San Diego, CA 92121
Keywords: Semiconductor; CASTEP
SiOC hat als Material mit ungewöhnlich niedriger dielektrischer
Konstante eine wichtige Rolle in der Herstellung von Isolations-
schichten in der Halbleitertechnologie. Ein entscheidender Nachteil
dieses Mater