掠入射X射线显微镜反射率分析 (2006年)

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文件名称：掠入射X射线显微镜反射率分析 (2006年)
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更新时间：2021-04-26 08:33:51
自然科学 论文 X射线掠入射显微镜的反射率除了与掠入射角有关之外，还与反射表面的粗糙度密切相关。以设计的非共轴掠入射KBA X射线显微镜系统为例，讨论了掠入射下X射线从金属表面和单层膜表面反射的两种情况。分析了波长为0.83nm时，表面均方粗糙度（RMS）对反射率的影响，并计算了该系统的X射线反射率。分析结果表明RMS增大，反射率会降低；无氧铜的反射率为0.021，单层膜的反射率为0.049，因此KBA X射线显微镜可采用镀单层膜的方法加工。