SrTiO3薄膜的掠入射X射线衍射研究 (2011年)

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文件名称：SrTiO3薄膜的掠入射X射线衍射研究 (2011年)

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更新时间：2024-07-03 05:10:09

自然科学 论文

采用掠入射X射线衍射技术研究了外延SrTiO3薄膜面内晶格应变随着深度的分布。研究发现不管是较薄的还是较厚的薄膜其面内晶格应变随深度的分布都不是连续变化的,而是可以分为三个区域,即表面区、应变驰豫区、界面区。