文件名称：平面外抛物线微透镜阵列的制作和快速复制
文件大小：768KB
文件格式：PDF
更新时间：2024-04-06 09:14:55
Microlens array; Replication; Micro-molding; Aspherical
近年来，具有可控曲率的非球面透镜由于其消除像差的优势而成为最受欢迎的研究对象之一。 在本文中，我们报告了一种制造和复制非球面微透镜阵列的新方法，其主光轴与基板表面平行。 该技术基于SU-8厚抗蚀剂的紫外线（UV）光刻技术。 该技术在过去曾被用来制造球形透镜，并且在制造非球面微透镜方面面临着困难。 通过控制掩模图案和其他Craft.io参数，特别是曝光剂量，可以获得具有不同尺寸和表面曲率的非球面微透镜。 用PDMS浇铸复制后，再模制UV感光材料NOA 73，得到具有更好光学性能的微透镜。 因为使用此技术制成的微透镜的主光轴与基板平行，所以它们可以轻松地与其他组件集成在一起，以形成片上光学平台，例如光学开关和成像系统。