用于复制柱面微透镜阵列的铸塑工艺 (1998年)

时间:2024-05-13 18:55:50
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文件名称:用于复制柱面微透镜阵列的铸塑工艺 (1998年)

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更新时间:2024-05-13 18:55:50

工程技术 论文

在光刻热熔成型以及电铸复制得到的柱面微透镜阵列镍模板基础上,采用铸塑工艺得到了高质量的PMMA柱面微透镜阵列.本文介绍了静态铸塑的模具设计、工艺过程、参数控制及测试分析。对柱面微透镜阵列的表面形貌分析表明,铸塑复制的面形误差小于0. 5μm.


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