文件名称：微型光热驱动机构及其显微运动测量研究 (2009年)
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更新时间：2024-06-09 03:52:50
工程技术 论文
提出微型光热驱动机构（PTMA）及其显微运动测量的新方法，设计与微加工制作一种长度为1.5mm的非对称型PTMA，并开展光热驱动的实验研究。利用该测量方法，在波长为650nm、功率为9mw的半导体激光控制下，对PTMA的振幅与频率等显微运动特性进行测量和分析，测得最大振幅为10.3μm，理想响应频率范围为O～7Hz，并绘制出其运动轨迹。研究结果表明，这类新型PTMA可在激光操控下产生不同振幅（位移）、不同频率（速度）的微运动，为机电系统提供了一种新的微驱动方法。