论文研究-PMMA介质层IZO-TFT的制备和研究 .pdf

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文件名称：论文研究-PMMA介质层IZO-TFT的制备和研究 .pdf

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更新时间：2022-09-06 10:06:35

薄膜晶体管

PMMA介质层IZO-TFT的制备和研究，冯佳涵，张群，试制了氧化物沟道层和有机介质层构成的混合型薄膜晶体管（TFT）。由直流反应磁控溅射法室温沉积氧化铟锌（IZO）沟道层，浸渍提拉法