数值模拟化学气相沉积过程中的输运 反应和结构（英文）

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文件名称：数值模拟化学气相沉积过程中的输运 反应和结构（英文）

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更新时间：2021-04-19 11:05:40

模拟书籍 化学气相沉积

Mathematical modeling of transport, reaction, and structure evolution in chemical vapor infiltration processes