基于Arnoldi算法的MEMS微梁的宏建模 (2005年)

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文件名称：基于Arnoldi算法的MEMS微梁的宏建模 (2005年)
文件大小：273KB
文件格式：PDF
更新时间：2021-05-16 07:29:02
工程技术 论文 微机电系统通常涉及机、电、流体、热等多个耦合能量域，其设计与分析需要通过宏建模来降低复杂度。论文根据系统传递函数矩匹配原理，提出将Arnoldi算法与Taylor展开相结合来实现MEMS器件行为的宏建模，建立了典型MEMS微梁的宏模型。与有限差分法相对比，该方法可以较准确地实现MEMS器件的快速动态仿真。