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文件名称：论文研究-表面极性对ZnMgO/ZnO异质结中二维电子气形成的影响 .pdf
文件大小：1.29MB
文件格式：PDF
更新时间：2022-09-05 04:12:56
氧化镁锌/氧化锌异质结
表面极性对ZnMgO/ZnO异质结中二维电子气形成的影响，李远洁，马博君，利用射频磁控溅射法在c面（0001）蓝宝石单晶衬底上生长了ZnMgO/ZnO异质结结构，通过对生长过程中射频功率及氧气流量的调控，获得了不�