文件名称：BCN 层的等离子体辅助沉积
文件大小：45KB
文件格式：PDF
更新时间：2024-07-19 11:25:55
学术 论文
Plasmaunterstützte Abscheidung von BCN-Schichten Poster Plasmaunterstützte Abscheidung von BCN-Schichten T. Thamm, K.-U. Körner, D. Dietrich, G. Marx* Technische Universität Chemnitz, Institut für Chemie, Professur Physikalische Chemie, Straße der Nationen 62, D-09107 Chemnitz Keywords: Chemical vapour deposition; Precursor Verbindungen aus dem System B-C-N sind aufgrund ihrer interes- santen chemischen, thermischen und tribologischen Eigenschaften in den letzten Jahren verstärkt in den F