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文件名称：BCN 层的等离子体辅助沉积
文件大小：45KB
文件格式：PDF
更新时间：2021-06-29 17:39:15
学术 论文
Plasmaunterstützte Abscheidung von BCN-Schichten
Poster
Plasmaunterstützte Abscheidung von
BCN-Schichten
T. Thamm, K.-U. Körner, D. Dietrich, G. Marx*
Technische Universität Chemnitz, Institut für Chemie, Professur
Physikalische Chemie, Straße der Nationen 62, D-09107
Chemnitz
Keywords: Chemical vapour deposition; Precursor
Verbindungen aus dem System B-C-N sind aufgrund ihrer interes-
santen chemischen, thermischen und tribologischen Eigenschaften
in den letzten Jahren verstärkt in den F