论文研究-MIS结构绝缘层中陷阱电荷的测量方法和分析 .pdf

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更新时间：2022-09-06 19:04:26

MIS结构

MIS结构绝缘层中陷阱电荷的测量方法和分析，魏泰，杨峰，随着集成电路的发展和器件特征尺寸不断的减小，集成电路的可靠性问题日渐凸显并且已经严重影响到了器件的性能要求，而界面态对器