论文研究-高κ LaAlO3栅介质的边缘寄生电容效应研究 .pdf

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更新时间：2022-09-05 03:12:50

LaAlO3栅介质

高κ LaAlO3栅介质的边缘寄生电容效应研究，刘红侠，张昊，本文主要研究了采用高κ栅介质时普遍存在的阈值电压漂移问题。研究结果表明：高κ LaAlO3栅介质的应用增加了氧化层的物理厚度，由此�