铜抛光液的电化学行为研究 (2008年)

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文件名称：铜抛光液的电化学行为研究 (2008年)
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更新时间：2021-05-28 14:30:06
自然科学 论文 为分析用于超大规模集成电路(ULSI)中铜化学机械抛光(CMP)所使用抛光液的添加剂对铜硅fi-的氧化、溶解和腐蚀抑制行为，以双氧水为氧化剂，柠檬酸为络合剂，苯丙三唑(BTA)为腐蚀抑制剂，在pH5的条件下进行抛光液的电化学行为研究．测试了铜在抛光液中的极化曲线、交流阻抗谱以及静腐蚀量．试验结果表明：添加络合剂柠檬酸降低了原来处于钝化状态下的铜抛光液系统的阻抗；加入缓蚀剂BTA后，Cu- H2O2-Citric acid-BTA系统的交流阻抗值增大．测试到的Cu-H2O2-Citric acid系统由于存