文件名称：论文研究-The effect of RTP pre-annealing on the precipitation behavior and electrical property of copper in CZ silicon.pdf
文件大小：632KB
文件格式：PDF
更新时间：2022-09-05 03:55:15
Silicon, RTP, Lifetime
RTP预处理对直拉硅中铜沉淀行为及其电学性能的影响，王维燕，杨德仁，我们使用红外扫描电镜，电子束诱生电流和微波光电导衰减仪等设备，研究了RTP预处理对直拉硅中Cu沉淀的行为及其电学性能的影响。实�