论文研究-电子束斑的电流密度分布的波动电子光学研究 .pdf

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文件名称：论文研究-电子束斑的电流密度分布的波动电子光学研究 .pdf

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更新时间：2022-09-11 08:15:13

电子束

电子束斑的电流密度分布的波动电子光学研究，郭小立，唐天同，本文采用波动电子光学的图像理论来研究高分辨电子光学系统的电子束斑电流密度分布。利用波像差概念和电荷密度的旁轴展开式，修正