文件名称：EB-PVD工艺参数对沉积Ti-Al薄板的影响 (2010年)
文件大小：376KB
文件格式：PDF
更新时间：2024-06-06 12:29:51
自然科学 论文
为了获得采用EB-PVD技术制备Ti-Al薄板的合理工艺参数，分析了Ti-Al薄板在实际试验条件下的蒸发与沉积过程。采用相关热学理论，结合分析试验的方法并依照EB。PVD工艺特点，对蒸气粒子的传输、饱和蒸气压对蒸发原子的影响以及A1的再蒸发进行了研究。结果表明：EB-PVD工艺制备Ti-Al薄板的最佳靶基距为280mm；饱和蒸气压的差异使得材料截面呈现分层特征；加入Nb片可以减小由于Ti、A1的蒸发速率差异导致的沉积材料与靶材之间的成分偏差，Al在基板上的2次蒸发可忽略不计。工艺参数的合理设计及在熔池中添