论文研究-膜厚对ITO薄膜的表面等离子体共振波长的影响 .pdf

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文件名称：论文研究-膜厚对ITO薄膜的表面等离子体共振波长的影响 .pdf

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更新时间：2022-09-06 23:20:52

表面等离子体

膜厚对ITO薄膜的表面等离子体共振波长的影响，蔡昕旸，王新伟，本文采用直流磁控溅射的方式在浮法玻璃衬底上制备了立方多晶铁锰矿结构的ITO薄膜。为了实现ITO薄膜表面等离子体共振（SPR）波长的可