测量薄膜厚度及其折射率的光学方法

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文件名称：测量薄膜厚度及其折射率的光学方法

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更新时间：2012-07-13 04:54:01

　椭圆偏振法 干涉法 膜厚

　介绍了椭圆偏振法、棱镜耦合法和干涉法测量薄膜厚度和折射率的基本原理和仪器组成,并分析了它 们的特点及存在问题,指出选择测量方法和仪器应注意的问题