用干涉显微镜测量薄膜厚度的改进与分析

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文件名称：用干涉显微镜测量薄膜厚度的改进与分析

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更新时间：2012-07-13 15:08:27

干涉显微镜;白光干涉;透明薄膜;厚度

将干涉显微镜的应用推广到透明薄膜厚度的测量,扩展了干涉显微镜的测量范围和应用领域. 基于菲涅耳公式,分析了透明薄膜界面的反射. 根据白光干涉原理,利用圆形样品台的定量移动,实现了薄膜厚度的测量