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文件名称：论文研究-生长在半绝缘衬底上的AlGaN/GaN异质结的生长与特性 .pdf
文件大小：1.04MB
文件格式：PDF
更新时间：2022-09-04 06:25:22
分子束外延
生长在半绝缘衬底上的AlGaN/GaN异质结的生长与特性，梅菲，付秋明，本文研究了用射频等离子体援助分子束外延，生长在蓝宝石衬底上的Al0.30Ga0.70N/GaN异质结。20纳米的Al0.30Ga0.70N阻挡层沉积在2微米的半绝缘