论文研究-AlGaN/GaN异质结的微区电性能研究 .pdf

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文件名称：论文研究-AlGaN/GaN异质结的微区电性能研究 .pdf

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更新时间：2022-09-05 08:32:43

扫描探针显微镜

AlGaN/GaN异质结的微区电性能研究，古曦，孙浩明，本文基于扫描探针显微镜(SPM)建立了微区电容的低频测量系统，最小测量电容为30aF，工作频率为20-100kHz。试验测量了SPM导电针尖与金属样