论文研究-Thermal annealing effect on sputtered tungsten oxide thin films.pdf

时间:2022-09-04 05:54:15
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更新时间:2022-09-04 05:54:15

tungsten oxide film

热退火对溅射沉积钨氧化物薄膜的影响,秦玉香,沈万江,利用反应磁控溅射法在氧化铝基底上沉积氧化钨薄膜并分别与200、300、400和600oC空气气氛退火4h。研究了热退火对氧化钨薄膜微结构和气��


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