论文研究-Thermal annealing effect on sputtered tungsten oxide thin films.pdf

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文件名称：论文研究-Thermal annealing effect on sputtered tungsten oxide thin films.pdf
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更新时间：2022-09-04 05:54:15
tungsten oxide film 热退火对溅射沉积钨氧化物薄膜的影响，秦玉香，沈万江，利用反应磁控溅射法在氧化铝基底上沉积氧化钨薄膜并分别与200、300、400和600oC空气气氛退火4h。研究了热退火对氧化钨薄膜微结构和气��