论文研究-Performance Improvement of Oxide Thin-Film Transistors by a Two-Step-Annealing Method.pdf

时间:2022-09-09 00:22:09
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更新时间:2022-09-09 00:22:09

oxide semiconductor

两步退火方法对氧化物薄膜晶体管性能的改善作用,李民,兰林锋,本文使用两步退火的方法制备了基于氧化铟锌半导体的薄膜晶体管。与普通的只有单步退火方法制备的相比,这种薄膜晶体管具有更好的


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