文件名称：论文研究-基于NSGA-II算法的刻蚀机腔室关键结构工艺参数多目标优化 .pdf
文件大小：544KB
文件格式：PDF
更新时间：2022-09-05 05:37:37
平均刻蚀速率
基于NSGA-II算法的刻蚀机腔室关键结构工艺参数多目标优化 ，崔广英，杨为，以某18英寸晶元湿法刻蚀机腔室为研究对象，建立以入口流量、入口半径、阻尼板渗透系数、喷淋板渗透系数和刻蚀腔间距为参数的中心�
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