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文件名称：对制造过程数据的分析.docx
文件大小：156KB
文件格式：DOCX
更新时间：2022-12-23 22:32:15
文档资料
对制造过程数据的分析全文共5页，当前为第1页。对制造过程数据的分析全文共5页，当前为第1页。对制造过程数据的分析 对制造过程数据的分析全文共5页，当前为第1页。 对制造过程数据的分析全文共5页，当前为第1页。 1、对于半导*造过程数据的分类 根据数据来源分类： 1）生产过程数据：产品在整条生产线上的加工操作过程或过程单元相关的数据 工件加工时间、产量指标、每个加工步骤的操作信息等 2）资源数据：物理设备及生产环境相关的数据 系统资源、用户资源、通用资源 3）市场数据：外围环境因素，如市场、客户等相关的数据 产品需求量、所需产品种类、交货时间等 根据数据用途分类： 1）筛选数据：用于信息数据清洗的数据。属于生产过程前依据设备条件、生产产品种类固定确定的数据集合。主要包含制造过程中的各种物理条件约束: 工艺约束（工艺流程约束）：目前对于数据预处理的应用未知，可以用于最后调度方案的删减。 系统资源约束（设备约束、辅料约束、人员约束）：主要是通过约束找出产品生产数据的与实际生产部分矛盾数据，这类矛盾原因基本上是由于传感器等测量设备出现偏差导致的，对其进行删除处理。 系统性能指标约束：这类约束包含在产品生产数据中。 设备的常规物理量约束：包含数据类型自身的物理量特性，常规的物理规律，和唯一性、联系性、空值规则。 2）信息数据：用于进行数据分析获取其中知识的数据。包括缓冲区内信息，产品数据如WIP数量、晶圆所含芯片数量等，设备数据如运行时间、损坏时间、空闲时间等，加工过程数据如加工时间、产量。 3）结论修正数据：对得到若干调度方案进行分析处理的数据。包含工艺流程约束等数据，对调度方案进行物理可能性的筛选。 对制造过程数据的分析全文共5页，当前为第2页。对制造过程数据的分析全文共5页，当前为第2页。 对制造过程数据的分析全文共5页，当前为第2页。 对制造过程数据的分析全文共5页，当前为第2页。 作业车间调度流程图 对制造过程数据的分析全文共5页，当前为第3页。对制造过程数据的分析全文共5页，当前为第3页。流水车间调度 对制造过程数据的分析全文共5页，当前为第3页。 对制造过程数据的分析全文共5页，当前为第3页。 对制造过程数据的分析全文共5页，当前为第4页。对制造过程数据的分析全文共5页，当前为第4页。 对制造过程数据的分析全文共5页，当前为第4页。 对制造过程数据的分析全文共5页，当前为第4页。 工艺设备产生的数据 （一）实时数据 将要进入缓冲区工件种类A1 将要进入缓冲区工件数量A2 工件进入缓冲区的时间A3 缓冲区工件种类及其排序A4 缓冲区工件数量A5 缓冲区每个工件等待时间A6 缓冲区每类工件/总工件平均等待时间A7 工件开始加工时间A8 正在加工工件数量（单片加工、串行批量加工、单卡并行批量加工、多卡并行批量加工）A9 10、每个工件加工时间A10 11、同类工件平均加工时间A11 12、即将离开设备工件数A12 13、加工完成工件离开时间A13 14、设备整定时间A14 15、设备状况A15 （二）短期指标 1、设备利用率 2、硅片移动速度 3、工件合格率（指通过单一设备的合格率） 4、设备状况 5、 （三）长期指标 1、设备利用率 2、硅片平均移动速度 3、工件合格水平 4、设备平均故障时间 5、设备运行时间 6、设备空闲时间 7、设备故障类型及对产品质量的影响程度 调度产生的数据 （一）短期数据 1、投料工件种类及其数量 2、投料时间 对制造过程数据的分析全文共5页，当前为第5页。对制造过程数据的分析全文共5页，当前为第5页。2、工件原始加工流程 对制造过程数据的分析全文共5页，当前为第5页。 对制造过程数据的分析全文共5页，当前为第5页。 3、返工流程 4、设备上工件加工序列 5、设备上工件加工时间 7、工艺更改 8、客户需求变化 9、设备整体状况 （二）长期数据 1、单一工件基本加工流程 2、重入加工流程 3、设备整体状况 4、加工瓶颈设备 性能指标 1、成品率 2、在制品数量 3、设备利用率 4、平均加工周期及其方差 5、总移动量 6、移动速率 7、生产率 8、准时交货率与拖期率 整体数据 2、各类工件加工时间 3、完成产品流程 对制造过程数据的分析