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文件名称：CO

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文件格式：PDF

更新时间：2024-03-04 04:04:35

CO2激光器 表面处理 损伤阈值

介绍了CO2激光修复光学元件表面损伤用其对基片表面缺陷进行抛光的原理、内容以及最新进展,分析了CO2激光修复光学元件表面损伤对元件抗损伤阈值的提高所起的重要作用,并指出技术中存在的问题。