文件名称：高温退火气氛对Denuded Zones的影响 (1988年)
文件大小：226KB
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更新时间：2024-06-13 16:11:28
自然科学 论文
由DZ宽度与退火时间和温度的关系曲凌，测定了合氧硅在N2、O2、O2+5％HC1气氛中退火时硅中间隙氧的外扩散激活能。实验表明：在氧化气氛中退火，有利于原始硅片中潜在微缺陷的消除和推迟间隙氧的沉淀，增强间隙氧的外扩散，可获得较宽的DZ．
高温退火气氛对Denuded Zones的影响 (1988年)
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