轮廓光电自动调焦系统 (1986年)

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文件名称：轮廓光电自动调焦系统 (1986年)

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更新时间：2024-06-18 02:08:19

工程技术 论文

本文叙述我所研制的轮廓光电自动调焦的原理。实验证明:移动范围在±10μm时,重复精度为±0. 5μm, 大于±10μm时,重复精度为±1μm。