激光烧蚀速率精密调节的新技术 (1989年)

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更新时间:2024-06-11 22:49:19

自然科学 论文

提出了一种精密调节激光烧蚀速率的方法――双光束技术,得到了比单光束技术约高两个数量级的调节精度。对这种双光束调节的机制进行了解释。


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