磁控溅射工艺引起硅表面超薄钝化层电子结构变化

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文件名称：磁控溅射工艺引起硅表面超薄钝化层电子结构变化

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更新时间：2024-06-17 11:44:59

研究论文

磁控溅射工艺引起硅表面超薄钝化层电子结构变化