多晶硅电导特性(Ⅰ) (1980年)

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文件名称：多晶硅电导特性(Ⅰ) (1980年)

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更新时间：2024-06-20 20:14:50

自然科学 论文

多晶硅的电学特性远比单晶硅复杂。不同作者,如seto和Kamins,关于迁移率与掺杂浓度关系的实验结果是互不一致的。本文认为他们的理论和实验只在一定范围内成立。作者预计迁移率与掺杂浓度关系曲线在中等掺杂浓度范围内应有一个极小值;而在高浓度方面则应存在一个极大值,并且计算了它们所对应的掺杂浓度及其与晶粒大小的关系。