mem materials and processes handbook.

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文件名称：mem materials and processes handbook.

文件大小：26.26MB

文件格式：PDF

更新时间：2018-08-17 02:52:40

MEMS, fabrication process

很全面的微机电系统的制造工艺的图书，包括干法刻蚀，湿法刻蚀，硅片键合等等。