晶体硅太阳电池扩散气氛场均匀性研究

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文件名称：晶体硅太阳电池扩散气氛场均匀性研究

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更新时间：2024-05-06 11:55:21

硅太阳电池；扩散；均匀性；气氛场；量产

为降低晶体硅太阳电池的制造成本，从扩散气氛场角度提出实验方法，优化扩散工艺均匀性。该研究方法可改善太阳电池电性能并对产业化生产起指导作用。