文件名称:晶体硅太阳电池减反射膜的研究 (2011年)
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更新时间:2024-05-31 12:50:32
工程技术 论文
为了提高晶体硅太阳能电池的光电转换效率,以及获得较佳的减反射膜的膜厚和折射率,根据计算得出的在波长为600nm的太阳光下减反射膜的膜厚和折射率的最佳理论值,设计了三组等离子体增强化学气相沉积工艺(1#,2#和3#工艺),来制备不同膜厚和折射率的SiNx:H(氮化硅)减反射膜。实验结果显示:1#工艺对应的膜厚为83nm,折射率为2.01;2#工艺对应的膜厚为75nm,折射率为2.01;3#工艺对应的膜厚为66nm,折射率为2.02。1#工艺对应电池片的转换效率为18.00%,2#工艺对应电池片的转换效率为1