光杠杆式nm级微位移激光测量系统的研究

【文件属性】：

文件名称：光杠杆式nm级微位移激光测量系统的研究

文件大小：370KB

文件格式：PDF

更新时间：2013-03-31 10:23:51

光杠杆 微位移 激光

对传统光杠杆测量微小位移的原理进行改进，可以将微位移量放大100量级以上 ,测量系统的理论分辨率为4 nm、 实测 分辨率小于 10 nm