光杠杆式nm级微位移激光测量系统的研究 时间:2013-03-31 10:23:51 【文件属性】: 文件名称:光杠杆式nm级微位移激光测量系统的研究 文件大小:370KB 文件格式:PDF 更新时间:2013-03-31 10:23:51 光杠杆 微位移 激光 对传统光杠杆测量微小位移的原理进行改进,可以将微位移量放大100量级以上 ,测量系统的理论分辨率为4 nm、 实测 分辨率小于 10 nm 立即下载