文件名称：双频氦氖激光回馈位移测量系统的实验与应用研究 (2007年)
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更新时间：2024-05-18 10:52:25
工程技术 论文
研究了一种全新的纳米尺度位移测量系统。将双折射元件插入He Ne激光器谐振腔内产生频率分裂效应，使原本单模谐振的激光器输出变成了频差可调的2个正交偏振频率（o光和e光），而形成双频激光器。在激光谐振腔外放置沿激光轴线位移的反射表面，将输出的激光束反射回腔内，以便对激光的光强进行调制，可实现高分辨率非接触式可判向位移测量。提出了一种细分方法，该方法突破了传统干涉系统的衍射极限（1/2波长）。对于633nm波长He Ne激光，本系统的理想分辨率为1/8波长（约为79nm）。