文件名称：金属薄膜加热器的研究① (2004年)
文件大小：247KB
文件格式：PDF
更新时间：2024-05-16 22:03:08
工程技术 论文
采用射频溅射方法制备了Cr和Ni-Cr（Ni：80%，Cr：20%）金属薄膜，探讨了热处理温度和时间对Cr薄膜电阻温度系数和电阻率的影响。在一定直流电压条件下，Ni-Cr和Cr薄膜微型加热器的加热温度可达到100℃，且升温速率皆大于0.50C/s。通过测量微加热器的电阻温度曲线，表明所制备的金属薄膜式微型加热器具有较好的稳定性和重复性，能够满足PCR生物芯片和硅基热分布式微流量传感器的要求。