文件名称：低温光化学生长金属钯薄膜研究 (2001年)
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更新时间：2024-05-26 21:35:53
自然科学 论文
报道了新一代紫外光源――激发态双分子(Excimer)紫外光源在制备金属薄膜材料方面的应用研究．金属钯是一种优良的催化剂，首先在各种衬底如Al2O3、AIN、玻璃以及聚合物等上面淀积钯的金属有机化合物薄膜，通过紫外光分解钯的金属有机化合物，形成数埃到几十埃的钯膜，然后再利用钯的催化效应，在无电极电镀液中淀积出几十纳米到几．微米厚的各种金属薄膜(如 Cu、Au、Ni等)．