共蒸发法制备HfSiO薄膜的结构，光学和介电性能

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文件名称：共蒸发法制备HfSiO薄膜的结构，光学和介电性能

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更新时间：2024-06-06 17:13:02

研究论文

共蒸发法制备HfSiO薄膜的结构，光学和介电性能