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文件名称：加载控制模式对电沉积镍薄膜力学性能测试的影响 (2011年)
文件大小：1.1MB
文件格式：PDF
更新时间：2021-06-17 23:50:16
自然科学 论文
为研究深度和载荷2种加载控制模式对样品硬度和杨氏模量测试结果的影响,选取了厚度为6μm的电沉积镍薄膜为样品,采用美国Hysitron公司生产的TriboIndenter型压痕仪进行压痕试验.结果表明:因薄膜和基底2种材料的性能相差较大,随着压痕深度的增加,基底效应越来越明显;载荷控制模式下所测的硬度和杨氏模量较深度控制模式的都要大,且两性能参数中因应力松弛效应的影响硬度差别更为明显.