金属等离子体浸没Ta+和Ti+离子注入* (2000年)

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文件名称：金属等离子体浸没Ta+和Ti+离子注入* (2000年)

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更新时间：2024-07-01 12:28:03

自然科学 论文

采用由阴极真空弧等离子体源、负脉冲高压靶台和磁过滤系统组成的金属等离子体浸没注入系统，实现Ta+和Ti+浸没注入，并对离子注入层予以表征。结果表明，等离子体浸没离子注人钽和钛的RBS分析射程，低于按设定加速电压的注入能量计算的TRIM射程。